NA 062
DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Norm
[NEU]
ISO 23131-2
ISO 23131-2
Ellipsometrie - Teil 2: Modell Volumenmaterial
Titel (englisch)
Ellipsometry - Part 2: Bulk material model
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-02-101 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme