DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
DIN ISO 24173
Mikrobereichsanalyse - Leitfaden zur Messung der Orientierung mit Elektronenrückstreubeugung (ISO 24173:2024)
Microbeam analysis - Guidelines for orientation measurement using electron backscatter diffraction (ISO 24173:2024)
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument liefert eine Anleitung, wie mit der Elektronenrückstreubeugung (EBSD, englisch: electron backscatter diffraction) verlässliche und reproduzierbare Messungen der kristallographischen Orientierung durchgeführt werden können. Es behandelt die Anforderungen an die Probenvorbereitung, an Gerätekonfiguration, Gerätekalibrierung sowie Datenerfassung. Das zuständige nationale Normungsgremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-08-18 AA "Elektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP).
Änderungsvermerk
Gegenüber DIN ISO 24173:2013-04 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Abschnitt 3 aktualisiert; b) "in die Arbeitsposition" in "in der Detektorposition" geändert [siehe 6.6 d)]; c) "7.1 Präparation für die Voruntersuchung" der vorherigen Ausgabe entfällt; d) "Anhang B (normativ)" geändert in "Anhang B (informativ)"; e) Dokument an ISO-Regeln angepasst; f) Dokument redaktionell überarbeitet.
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-18 AA - Elektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse