DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
ISO 14606
Chemische Analytik an Oberflächen - Tiefenprofilanalyse mit Ionenstrahlzerstäubung - Optimierung mit Hilfe von Referenzschichtsystemen
Surface chemical analysis - Sputter depth profiling - Optimization using layered systems as reference materials
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-09-103 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie