NA 062
DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Norm
[ZURÜCKGEZOGEN]
DIN 50455-1
DIN 50455-1
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Verfahren zur Charakterisierung von Fotolacken; Bestimmung der Schichtdicke mit optischen Meßmethoden
Titel (englisch)
Testing of materials for semiconductor technology; methods for characterizing photoresists; determination of coating thickness with optical methods
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Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-10-103 AA - Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie
