NA 062
DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Norm
[ZURÜCKGEZOGEN]
DIN 50453-2
DIN 50453-2
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung der Ätzrate von Ätzmischungen; Siliciumdioxid-Schichten; Optisches Verfahren
Titel (englisch)
Testing of materials for semiconductor technology; determination of etch rates of etching mixtures; silicium-dioxid coating; optical method
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Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-02-21 AA - Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie
