NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

Norm [AKTUELL]

DIN 50453-1
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung der Ätzraten von Ätzmischungen; Silicium-Einkristalle; Gravimetrisches Verfahren

Titel (englisch)

Testing of materials for semiconductor technology; determination of etch rates of etching mixtures; silicium monocrystals; gravimetric method

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-02-21 AA - Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie 

Ausgabe 1990-10
Originalsprache Deutsch
Preis ab 30,23 €
Inhaltsverzeichnis

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