NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

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Norm [ZURÜCKGEZOGEN]

DIN 50453-1
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung der Ätzraten von Ätzmischungen; Silicium-Einkristalle; Gravimetrisches Verfahren

Titel (englisch)

Testing of materials for semiconductor technology; determination of etch rates of etching mixtures; silicium monocrystals; gravimetric method

NA 062-10-103 AA - Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie

Ausgabe 1990-10

Originalsprache Deutsch

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