DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
DIN 50451-1
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Metallspuren in Flüssigkeiten; Silber (Ag), Gold (Au) und Kupfer (Cu) in Salpetersäure mittels AAS
Testing of materials for semiconductor technology; determination of traces of metals in liquids; Ag, Au and Cu in nitric acid by means of AAS
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Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-10-103 AA - Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie