NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

Projekt

Ellipsometrie - Teil 3: Modell transparente Einfachschicht

Kurzreferat

In diesem Dokument wird anhand ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke d einer transparenten Schicht sowie der optischen (Brechungsindex n) oder dielektrischen (Realteil ε1) Konstanten bzw. Funktionen auf der Grundlage des Modells einer transparenten Einzelschicht innerhalb eines Spektralbereichs beschrieben, für den k = 0 gilt.

Beginn

2026-08-25

WI

00262396

Geplante Dokumentnummer

DIN EN ISO 23131-3

Projektnummer

06237167

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-02-101 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme  

Zuständiges europäisches Arbeitsgremium

CEN/TC 262/WG 12 - Normenpflege und ISO-Koordination  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 107/JWG 4 - Gemeinsame Arbeitsgruppe ISO/TC 107 - ISO/TC 35/SC 9 WG: Methoden der Schichtdickenmessung für Überzüge, Lacke und Anstrichstoffe  

Vorgänger-Dokument(e)

Ellipsometrie - Teil 3: Modell transparente Einfachschicht; Text Deutsch und Englisch
2022-04

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