DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Ellipsometrie - Teil 3: Modell transparente Einfachschicht
Kurzreferat
In diesem Dokument wird anhand ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke d einer transparenten Schicht sowie der optischen (Brechungsindex n) oder dielektrischen (Realteil ε1) Konstanten bzw. Funktionen auf der Grundlage des Modells einer transparenten Einzelschicht innerhalb eines Spektralbereichs beschrieben, für den k = 0 gilt.
Beginn
2026-08-25
WI
00262396
Geplante Dokumentnummer
DIN EN ISO 23131-3
Projektnummer
06237167
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-02-101 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme
Zuständiges europäisches Arbeitsgremium
CEN/TC 262/WG 12 - Normenpflege und ISO-Koordination
Zuständiges internationales Arbeitsgremium
Vorgänger-Dokument(e)
Ellipsometrie - Teil 3: Modell transparente Einfachschicht; Text Deutsch und Englisch
2022-04