NA 027

DIN-Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO)

DIN 32567-4 [AKTUELL] zitiert folgende Dokumente:

Dokumentnummer Ausgabe Titel
DIN 32567-2 2014-10 Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 2: Prüfkörper für taktile Verfahren Mehr 
DIN 32564-1 2004-05 Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 1: Allgemeine Begriffe der Mikrosystemtechnik Mehr 
DIN 32567-1 2015-06 Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 1: Qualitative Abschätzung der material- und verfahrensspezifischen Einflüsse Mehr