NA 027

DIN-Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO)

DIN 32567-1 [AKTUELL] zitiert folgende Dokumente:

Dokumentnummer Ausgabe Titel
DIN EN ISO 25178-6 2010-06 Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 6: Klassifizierung von Methoden zur Messung der Oberflächenbeschaffenheit (ISO 25178-6:2010); Deutsche Fassung EN ISO 25178-6:2010 Mehr 
DIN 32564-1 2004-05 Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 1: Allgemeine Begriffe der Mikrosystemtechnik Mehr 
VDI/VDE 2617 Blatt 12.1 2011-03 Genauigkeit von Koordinatenmessgeräten - Kenngrößen und deren Prüfung - Annahme- und Bestätigungsprüfungen für Koordinatenmessgeräte zum taktilen Messen von Mikrogeometrien Mehr 
VDI/VDE 2629 Blatt 1 2008-08 Genauigkeit von Konturenmessgeräten - Kenngrößen und deren Prüfung - Annahmeprüfung und Bestätigungsprüfung für Konturenmessgeräte nach dem taktilen Tastschnittverfahren Mehr 
VDI/VDE 2655 Blatt 1.2 2010-10 Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von konfokalen Mikroskopen und Tiefeneinstellnormalen für die Rauheitsmessung Mehr