NA 027
DIN-Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO)
DIN 32567-1 [AKTUELL] zitiert folgende Dokumente:
| Dokumentnummer | Ausgabe | Titel |
|---|---|---|
| DIN EN ISO 25178-6 | 2010-06 | Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 6: Klassifizierung von Methoden zur Messung der Oberflächenbeschaffenheit (ISO 25178-6:2010); Deutsche Fassung EN ISO 25178-6:2010 Mehr |
| DIN 32564-1 | 2004-05 | Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 1: Allgemeine Begriffe der Mikrosystemtechnik Mehr |
| VDI/VDE 2617 Blatt 12.1 | 2011-03 | Genauigkeit von Koordinatenmessgeräten - Kenngrößen und deren Prüfung - Annahme- und Bestätigungsprüfungen für Koordinatenmessgeräte zum taktilen Messen von Mikrogeometrien Mehr |
| VDI/VDE 2629 Blatt 1 | 2008-08 | Genauigkeit von Konturenmessgeräten - Kenngrößen und deren Prüfung - Annahmeprüfung und Bestätigungsprüfung für Konturenmessgeräte nach dem taktilen Tastschnittverfahren Mehr |
| VDI/VDE 2655 Blatt 1.2 | 2010-10 | Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von konfokalen Mikroskopen und Tiefeneinstellnormalen für die Rauheitsmessung Mehr |