NA 027

DIN-Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO)

DIN 32567-3 [AKTUELL] zitiert folgende Dokumente:

Dokumentnummer Ausgabe Titel
DIN EN ISO 5436-1 2000-11 Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Tastschnittverfahren; Normale - Teil 1: Maßverkörperungen (ISO 5436-1:2000); Deutsche Fassung EN ISO 5436-1:2000 Mehr 
DIN 32564-1 2004-05 Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Begriffe - Teil 1: Allgemeine Begriffe der Mikrosystemtechnik Mehr 
DIN 32567-2 2014-10 Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 2: Prüfkörper für taktile Verfahren Mehr 
VDI/VDE 2617 Blatt 12.1 2011-03 Genauigkeit von Koordinatenmessgeräten - Kenngrößen und deren Prüfung - Annahme- und Bestätigungsprüfungen für Koordinatenmessgeräte zum taktilen Messen von Mikrogeometrien Mehr 
VDI/VDE 2629 Blatt 1 2008-08 Genauigkeit von Konturenmessgeräten - Kenngrößen und deren Prüfung - Annahmeprüfung und Bestätigungsprüfung für Konturenmessgeräte nach dem taktilen Tastschnittverfahren Mehr 
DIN EN ISO 25178-601 2011-01 Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft - Teil 601: Merkmale von berührend messenden Geräten (mit Taster) (ISO 25178-601:2010); Deutsche Fassung EN ISO 25178-601:2010 Mehr 
DIN EN ISO 3274 1998-04 Geometrische Produktspezifikationen (GPS) - Oberflächenbeschaffenheit: Tastschnittverfahren - Nenneigenschaften von Tastschnittgeräten (ISO 3274:1996); Deutsche Fassung EN ISO 3274:1997 Mehr 
VDI/VDE 2655 Blatt 1.2 2010-10 Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von konfokalen Mikroskopen und Tiefeneinstellnormalen für die Rauheitsmessung Mehr