NA 022
DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE
Vornorm
IEC/TS 62622
IEC/TS 62622
In der Nanotechnologie verwendetet künstliche Gitter - Beschreibung und Messung dimensionaler Qualitätsparameter
Titel (englisch)
Nanotechnologies - Description, and measurement of dimensional quality parameters of artificial gratings