Kurzreferat

Dieses Dokument gilt für das Messverfahren Ellipsometrie, eines Verfahrens zur Bestimmung optischer und dielektrischer Konstanten im UV Vis NIR Spektralbereich sowie von Schichtdicken im Bereich der at line Fertigungskontrolle, der Qualitätssicherung, der Materialentwicklung, akkreditierter Prüflaboratorien, jeweils vorzugsweise für stand alone Messsysteme unter besonderer Berücksichtigung einer GUM kon-formen Angabe von Ergebnisunsicherheit.

Beginn

2026-09-23

WI

00262398

Geplante Dokumentnummer

DIN EN ISO 23131-1

Projektnummer

06237170

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-02-101 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme  

Zuständiges europäisches Arbeitsgremium

CEN/TC 262/WG 12 - Normenpflege und ISO-Koordination  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 107/JWG 4 - Gemeinsame Arbeitsgruppe ISO/TC 107 - ISO/TC 35/SC 9 WG: Methoden der Schichtdickenmessung für Überzüge, Lacke und Anstrichstoffe