Projekt
Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 54: MEMS-Fertigungstechnologie auf Siliziumbasis - Messverfahren für die Zugfestigkeit von Mikrostrukture
Kurzreferat
Dieser Teil der Norm IEC 62047 legt die Anforderungen und das Prüfverfahren zur Bestimmung der Zugfestigkeit von Mikrostrukturen fest, die mittels Mikrobearbeitungstechnologie für mikroelektromechanische Systeme (MEMS) auf Siliziumbasishergestellt werden. Dieses Dokument gilt für die In-situ-Zugfestigkeitsmessung von Mikrostrukturen, die mittels mikroelektronischer Fertigungsverfahren und anderer Mikrobearbeitungstechnologien hergestellt wurden.
Beginn
2026-07-09
Geplante Dokumentnummer
DIN EN IEC 62047-54
Projektnummer
02233993
