Nichtmetallische Überzüge - Messung der Schichtdicke - Terahertz-Messverfahren
Kurzreferat
Dieses Dokument legt ein Verfahren zur Messung der Dicke nichtmetallischer Beschichtungen mittels Zeitbereichsspektroskopie im Terahertz-Frequenzbereich fest. Dieses Verfahren kann für alle Beschichtungen verwendet werden, die für elektromagnetische Wellen im Terahertz-Bereich durchlässig sind, typischerweise ab etwa 10 µm, je nach Material. Die Beschichtungen können sowohl auf metallischen als auch auf nichtmetallischen Trägermaterialien aufgebracht sein. Die Dicke aller einzelnen Schichten eines Schichtstapels kann ebenfalls in einer einzigen Messung bestimmt werden. Dieses Verfahren eignet sich auch, wenn die zu prüfenden Schichten nicht auf einem Substrat aufgebracht, sondern freistehend sind. Metallische oder allgemein leitfähige Schichten können von Terahertz-Strahlung nicht durchdrungen werden, sondern wirken als Reflektor, d. h., ihre Dicken lassen sich mit diesem Verfahren nicht bestimmen.
Beginn
2026-06-30
WI
00262393
Geplante Dokumentnummer
DIN EN ISO 26273
Projektnummer
06237132
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-02-101 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme
Zuständiges europäisches Arbeitsgremium
CEN/TC 262/WG 12 - Normenpflege und ISO-Koordination