Projekt
Kriterien für die Erkennung von Defekten in polierten Indiumphosphid-Wafern - Teil 1: Klassifizierung von Mängeln
Kurzreferat
Dieser Teil der Norm dient der Klassifizierung von Fehlern, die auf handelsüblichen Indium-Phosohid (InP)-Wafern. Er enthält Begriffe, Definitionen und Beobachtungsbilder von Defekten. Die Defektterminologie wird überprüft und bei Bedarf angepasst
Beginn
2024-07-09
Geplante Dokumentnummer
DIN EN IEC 63581-1
Projektnummer
02232424
