Norm
[AKTUELL]
DIN EN 62047-2
DIN EN 62047-2
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 2: Prüfverfahren zur Zugbeanspruchung bei Dünnschicht-Werkstoffen (IEC 62047-2:2006); Deutsche Fassung EN 62047-2:2006
Titel (englisch)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials (IEC 62047-2:2006); German version EN 62047-2:2006
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Zuständiges nationales Arbeitsgremium
DKE/K 631 - Halbleiterbauelemente
