Technische Regel [ZURÜCKGEZOGEN]

PAS 1022
Referenzverfahren zur Bestimmung von optischen und dielektrischen Materialeigenschaften sowie der Schichtdicke dünner Schichten mittels Ellipsometrie

Titel (englisch)

Reference procedure for the determination of optical and dielectric material properties and the layer thickness of thin films by ellipsometry

Verfahren

PAS

Ausgabe 2004-02
Originalsprache Deutsch , Englisch
Preis ab 77,90 €
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