DIN EN ISO 14644-13
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 13: Reinigung von Oberflächen zur Erreichung definierter Reinheitsgrade hinsichtlich Partikel- und Chemikalienkonzentration (ISO 14644-13:2026); Deutsche Fassung EN ISO 14644-13:2026
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical concentration (ISO 14644-13:2026); German version EN ISO 14644-13:2026
Änderungsvermerk
Gegenüber DIN EN ISO 14644-13:2017-11 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Begriff "Klasse" ("Klassifizierung", "klassifiziert") wurde gegebenenfalls in "Stufe" oder "Bewertung" geändert; b) die Verweisungen wurden aktualisiert; c) geringfügige redaktionelle Änderungen; d) Literaturhinweise, die im Text nicht erwähnt werden, wurden entfernt.
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 041-02-21 AA - Reinraumtechnik (SpA CEN/TC 243 und ISO/TC 209)
Zuständiges europäisches Arbeitsgremium
CEN/TC 243 - Reinraumtechnologie
