DIN EN ISO 14644-13
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 13: Reinigung von Oberflächen zur Erreichung definierter Reinheitsgrade hinsichtlich Partikel- und Chemikalienkonzentration (ISO/FDIS 14644-13:2025); Deutsche und Englische Fassung prEN ISO 14644-13:2025
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical concentration (ISO/FDIS 14644-13:2025); German and English version prEN ISO 14644-13:2025
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument gibt Richtlinien zur Reinigung von Reinraumoberflächen, Oberflächen der Ausrüstung in einem Reinraum und Oberflächen von Materialien in einem Reinraum bis zu einem festgelegten Grad. Berücksichtigt werden alle relevanten Oberflächen (extern oder intern). Es gibt Anleitungen zur Bewertung von Reinigungsverfahren zum Erreichen der geforderten Stufen der partikulären Oberflächenreinheit (englisch: surface cleanliness by particle concentration, SCP) und der chemischen Oberflächenreinheit (englisch: surface cleanliness by chemical concentration, SCC) und in Bezug darauf, welche Techniken zum Erreichen dieser festgelegten Grade berücksichtigt werden sollten. Das zuständige nationale Normungsgremium ist der Arbeitsausschuss NA 041-02-21 AA "Reinraumtechnik (SpA CEN/TC 243 und ISO/TC 209)" im DIN-Normenausschuss Heiz- und Raumlufttechnik sowie deren Sicherheit (NHRS).
Änderungsvermerk
Gegenüber DIN EN ISO 14644-13:2017-11 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Begriff "Klasse" (Klassifizierung, klassifiziert) gegebenenfalls durch "Stufe" oder "Bewertung" ersetzt; b) Verweisungen aktualisiert; c) Verweisungen, die im Text nicht erwähnt werden, entfernt; d) Dokument redaktionell überarbeitet.
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 041-02-21 AA - Reinraumtechnik (SpA CEN/TC 243 und ISO/TC 209)
Zuständiges europäisches Arbeitsgremium
CEN/TC 243 - Reinraumtechnologie
