Norm
[AKTUELL]
NF A91-156
; NF EN ISO 23216:2022-11-09
NF A91-156
; NF EN ISO 23216:2022-11-09
Kohlenstoffschichten - Bestimmung der optischen Eigenschaften von amorphen Kohlenstoffschichten mittels spektroskopischer Ellipsometrie
Titel (englisch)
Carbon based films - Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectroscopic ellipsometry