Norm
[AKTUELL]
SN EN ISO 23216
SN EN ISO 23216
Kohlenstoffschichten - Bestimmung der optischen Eigenschaften von amorphen Kohlenstoffschichten mittels spektroskopischer Ellipsometrie (ISO 23216:2021)
Titel (englisch)
Carbon based films - Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectroscopic ellipsometry (ISO 23216:2021)