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Technische Regel [AKTUELL]

IEC/TR 63258
Nanotechnoogien - Ein Leitfaden zur Bestimmung der Dicke nanoskaliger Filme mit Hilfe von Ellipsometrie

Titel (englisch)

Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

DKE/K 141 - Nanotechnologie  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 229/JWG 2 - Gemeinsame Arbeitsgruppe ISO/TC 229 - IEC/TC 113 WG: Messung und Charakterisierung  

Ausgabe 2021-03
Originalsprache Englisch
Preis ab 183,20 €
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Inhaltsverzeichnis

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Alexandra Fabricius

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Tel.: +49 69 6308-453

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