IEC/TR 63258
Nanotechnoogien - Ein Leitfaden zur Bestimmung der Dicke nanoskaliger Filme mit Hilfe von Ellipsometrie

Titel (englisch)

Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films

DKE/K 141 - Nanotechnologie

ISO/TC 229/JWG 2 - Gemeinsame Arbeitsgruppe ISO/TC 229 - IEC/TC 113 WG: Messung und Charakterisierung

Ausgabe 2021-03

Originalsprache Englisch

Preis ab 183,20 €

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Inhaltsverzeichnis

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