Norm
[AKTUELL]
ISO 22278
ISO 22278
Hochleistungskeramik - Prüfmethode für die kristalline Qualität von Siliciumcarbid (SiC) -Einkristallen unter Verwendung von hochauflösender Röntgenbeugung XRD
Titel (englisch)
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) - Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-113 AA - Hochleistungskeramik; Terminologie und Prüfverfahren
Zuständiges internationales Arbeitsgremium
ISO/TC 206/WG 7 - Monolithische Keramik – Physikalische, mechanische und thermische Eigenschaften
