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Norm [AKTUELL]

ISO 21859
Hochleistungskeramik - Prüfverfahren für die Plasmabeständigkeit keramischer Bauteile in Halbleiterfertigungsanlagen

Titel (englisch)

Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) - Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-08-113 AA - Hochleistungskeramik; Terminologie und Prüfverfahren  

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 206/WG 12 - Technische Anwendungen und poröse Keramiken  

Ausgabe 2019-06
Originalsprache Englisch
Preis ab 50,40 €
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Inhaltsverzeichnis

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Steffen Jenkel

Am DIN-Platz, Burggrafenstr. 6
10787 Berlin

Tel.: +49 30 2601-2058

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