Technische Regel
[AKTUELL]
VDI/VDE 2656 Blatt 1
VDI/VDE 2656 Blatt 1
Bestimmung geometrischer Messgrößen mit Rastersondenmikroskopen - Kalibrierung von Messsystemen
Titel (englisch)
Determination of geometrical quantities by using of scanning probe microscopes - Calibration of measurement systems
