Norm
[AKTUELL]
ISO 18516
ISO 18516
Chemische Oberflächenanalyse - Augerelektronen-Spektroskopie und Röntgenphotoelektronen-Spektroskopie - Bestimmung der lateralen Auflösung
Titel (englisch)
Surface chemical analysis - Determination of lateral resolution and sharpness in beam based methods with a range from nanometres to micrometres
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie
