DIN EN 62047-20
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 20: Gyroskope (IEC 62047-20:2014); Deutsche Fassung EN 62047-20:2014
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 20: Gyroscopes (IEC 62047-20:2014); German version EN 62047-20:2014
Einführungsbeitrag
Die Normenreihe DIN EN 62047 legt unter anderem eine Reihe von Prüfverfahren für Bauelemente der Mikrosystemtechnik (MEMS) fest, mit denen diese Bauelemente hinsichtlich ihrer Anwendbarkeit bewertet werden können. Die MEMS- und Halbleiterlaser-Technologien werden für die Herstellung von Gyroskopbauteilen (Drehratensensoren) in großem Umfang eingesetzt. Die Gyroskope selbst werden in vielen unterschiedlichen Anwendungsbereichen vom Konsumgut für Endverbraucher über allgemeine Industrieanwendungen bis hin zur Luftfahrt eingesetzt. In diesem Teil der DIN EN 62047 sind Begriffe, Bemessungen und Kenngrößen sowie Messverfahren für Gyroskope festgelegt. Es werden Messverfahren für Skalenfaktor, Querachsenempfindlichkeit, Bias, Ausgangsrauschen, Frequenzband und Auflösung festgeschrieben, um eine einheitliche Bewertung der Bauteile vornehmen zu können. Zuständig ist das DKE/K 631 "Halbleiterbauelemente" der DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE.
