DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Ellipsometrie - Teil 1: Grundlagen
Kurzreferat
Dieses Dokument gilt für das Messverfahren Ellipsometrie, eines Verfahrens zur Bestimmung optischer und dielektrischer Konstanten im UV Vis NIR Spektralbereich sowie von Schichtdicken im Bereich der at line Fertigungskontrolle, der Qualitätssicherung, der Materialentwicklung, akkreditierter Prüflaboratorien, jeweils vorzugsweise für stand alone Messsysteme unter besonderer Berücksichtigung einer GUM kon-formen Angabe von Ergebnisunsicherheit.
Beginn
2026-09-23
WI
00262398
Geplante Dokumentnummer
DIN EN ISO 23131-1
Projektnummer
06237170
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-02-101 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme
Zuständiges europäisches Arbeitsgremium
CEN/TC 262/WG 12 - Normenpflege und ISO-Koordination
