DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
Ellipsometrie - Teil 1: Grundlagen
Beginn
2026-09-12
Geplante Dokumentnummer
ISO/AWI 23131-1
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-02-101 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme
Zuständiges internationales Arbeitsgremium
Vorgänger-Dokument(e)
Ellipsometrie - Grundlagen
2021-04