NA 022

DKE Deutsche Kommission Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik in DIN und VDE

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Projekt

Generic specifications for MEMS

2004-07-30

IEC 47/1771/NP

DKE/K 631 - Halbleiterbauelemente

IEC/TC 47 - Halbleiterbauelemente

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Dr.

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