DIN 50452-1
Testing of materials for semiconductor technology - Test method for particle analysis in liquids - Part 1: Microscopic determination of particles
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Verfahren zur Teilchenanalytik in Flüssigkeiten - Teil 1: Mikroskopische Teilchenbestimmung
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Responsible national committee
NA 062-10-103 AA - Testing of process materials for semiconductor technology