Technical rule
[Withdrawn]
VDI/VDE 2655 Blatt 1.1
VDI/VDE 2655 Blatt 1.1
Optical measurement and microtopographies - Calibration of interference microscopes and depth measurement standards for roughness measurement
Title (German)
Optische Messtechnik an Mikrotopographien - Kalibrieren von Interferenzmikroskopen und Tiefeneinstellnormalen für die Rauheitsmessung