NA 022

DKE German Commission for Electrical, Electronic & Information Technologies of DIN and VDE

Standards [CURRENT]

IEC 62047-2
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials

Title (German)

Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 2: Prüfverfahren zur Zugbeanspruchung bei Dünnschicht-Werkstoffen

Edition 2006-08
Original language English , French
Price On Request
Table of contents