Area selective atomic layer deposition - Specification and test methods

2025-01-14

ISO/CD 25142

NA 062-02-101 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme

ISO/TC 107/WG 5 - Atomlagenabscheidung

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Clemens Judersleben

Am DIN-Platz, Burggrafenstr. 6
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