NA 062-10-103 AA
Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie
Der Arbeitsausschuss NA 062-02-21 AA "Prüfung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie" befasst sich mit der Erarbeitung und Pflege von Normen zur chemischen Analyse und Charakterisierung von Prozessmaterialien für die Halbleitertechnologie und mit der Erarbeitung und Anwendung von Analysenmethoden und Techniken. Ein wesentlicher Schwerpunkt ist die Spurenanalytik von Prozesschemikalien, insbesondere die Durchführung von Ringversuchen zur Methodenvalidierung, unter Beteiligung von Herstellern, Instituten und Anwendern.
