ISO 19383
Atomlagenabscheidung - Chemische Eigenschaften von Vorläufersubstanzen für die Atomlagenabscheidung und damit zusammenhängende Verfahrensspezifikationen

Titel (englisch)

Atomic layer deposition - Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors

NA 062-02-101 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme

ISO/TC 107/WG 5 - Atomlagenabscheidung

Ausgabe 2026-06

Originalsprache Englisch

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