ISO 8181
Atomlagenabscheidung - Terminologie

Titel (englisch)

Atomic layer deposition - Vocabulary

NA 062-02-103 AA - Kohlenstoffschichten und keramische Hartstoffschichten

ISO/TC 107/WG 5 - Atomlagenabscheidung

Ausgabe 2023-10

Originalsprache Englisch

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Inhaltsverzeichnis

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