Norm [AKTUELL]

DIN 50989-6
Ellipsometrie - Teil 6: Modell Effektive Materialien; Text Deutsch und Englisch

Titel (englisch)

Ellipsometry - Part 6: Effective Materials model; Text in German and English

Einführungsbeitrag

Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke d von Schichten effektiver Materialien sowie deren optischen (N) beziehungsweise dielektrischen (ε) Konstanten/Funktionen auf Basis des Modells Effektive Materialien fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet.

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-01-61 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme  

Ausgabe 2024-02
Originalsprache Deutsch , Englisch
Preis ab 91,80 €
Inhaltsverzeichnis

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