Einführungsbeitrag

Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke d einer transparenten Schicht sowie der optischen (Brechungsindex n) beziehungsweise dielektrischen (Realteil ε<(index)1>) Konstanten/Funktionen in einem Spektralbereich, für den k = 0 gilt, auf Basis des Modells Transparente Einfachschicht fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet.

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Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-02-101 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme