Norm
[AKTUELL]
ISO 15632
ISO 15632
Mikrobereichsanalyse - Ausgewählte instrumentelle Performanceparameter zur Spezifizierung und Überprüfung engergiedispersiver Röntgenspektrometer (EDS) für die Anwendung mit einem Rasterelektronenmikroskop (REM) oder einem Elektronenstrahlmikroanalysator (ESMA)
Titel (englisch)
Microbeam analysis - Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe microanalyser (EPMA)
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-09-104 AA - Elektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse
