ISO 14644-12
Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 12: Spezifikationen für die Überwachung der Luftreinheit anhand der Nanopartikelkonzentration

Titel (englisch)

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 12: Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration

NA 041-02-21 AA - Reinraumtechnik (SpA CEN/TC 243 und ISO/TC 209)

ISO/TC 209 - Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche

Ausgabe 2018-08

Originalsprache Englisch

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