DIN ISO 22309
Mikrobereichsanalyse - Quantitative Analyse mittels energiedispersiver Spektroskopie (EDS) für Elemente mit der Ordnungszahl 11 (Na) oder höher (ISO 22309:2011)
Microbeam analysis - Quantitative analysis using energy-dispersive spectrometry (EDS) for elements with an atomic number of 11 (Na) or above (ISO 22309:2011)
Einführungsbeitrag
Diese Norm liefert Hilfestellung zur quantitativen Analyse an bestimmten Punkten oder Bereichen einer Probe mit Hilfe der energiedispersen Spektrometrie (EDS) an einem Rasterelektronenmikroskop (REM) oder einem Elektronensondenmikroanlysengerät (EPMA); jede Angabe in Menge, das heißt in Prozent (Massenanteil), als groß/klein oder größere/kleinere Menge muss zwangsweise quantitativ sein. Die richtige Identifizierung aller in der Probe vorkommenden Elemente ist ein notwendiger Teil der quantitativen Analyse und wird daher in dieser Norm betrachtet. Diese Norm liefert eine Hilfestellung hinsichtlich der verschiedenen Ansätze und ist für quantitative Routineanalysen des Massenanteils auf bis zu 1% anwendbar und verwendet entweder Verfahren mit Referenzmaterial oder ohne. Es kann für Elemente mit Atomzahl Z größer als 10 verwendet werden. Das zuständige deutsche Gremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-08-18 AA "Elektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP).
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Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-09-104 AA - Elektronenmikroskopie und Mikrobereichsanalyse
