NA 062

DIN Standards Committee Materials Testing

Draft standard [Withdrawn]

DIN 50453-2
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of etch rates of etching mixtures - Part 2: Silicium-dioxid coating, optical method

Title (German)

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung der Ätzrate von Ätzmischungen - Teil 2: Siliciumdioxid-Schichten, Optisches Verfahren

Responsible national committee

NA 062-02-21 AA - Testing of process materials for semiconductor technology  

Edition 2023-02
Original language German
Price from 42.10 €
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