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Technische Regel [VORBESTELLBAR]

IEC/TR 63258
Nanotechnoogien - Ein Leitfaden zur Bestimmung der Dicke nanoskaliger Filme mit Hilfe von Ellipsometrie

Titel (englisch)

Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

DKE/K 141 - Nanotechnologie 

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 229/JWG 2 - Messung und Charakterisierung 

Ausgabe 2021-03
Originalsprache Englisch
Preis ab 49,30 €
Inhaltsverzeichnis

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Elena Rongen

Merianstraße 28
63069 Offenbach am Main

Tel.: +49 69 6308-429

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