Technische Regel
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VDI/VDE 2655 Blatt 1.1
VDI/VDE 2655 Blatt 1.1
Optische Messtechnik an Mikrotopographien - Kalibrieren von Interferenzmikroskopen und Tiefeneinstellnormalen für die Rauheitsmessung
Titel (englisch)
Optical measurement and microtopographies - Calibration of interference microscopes and depth measurement standards for roughness measurement