DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)
DIN 50989-6
Ellipsometrie - Teil 6: Modell Effektive Materialien; Text Deutsch und Englisch
Ellipsometry - Part 6: Effective Materials model; Text in German and English
Einführungsbeitrag
Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke von Schichten effektiver Materialien sowie deren optischen beziehungsweise dielektrischen Konstanten/Funktionen auf Basis des Modells Effektive Materialien fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet.
Zuständiges nationales Arbeitsgremium
NA 062-01-61 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme
