NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

Norm-Entwurf [NEU]

DIN 50989-6
Ellipsometrie - Teil 6: Modell Effektive Materialien; Text Deutsch und Englisch

Titel (englisch)

Ellipsometry - Part 6: Effective Materials model; Text in German and English

Einführungsbeitrag

Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke von Schichten effektiver Materialien sowie deren optischen beziehungsweise dielektrischen Konstanten/Funktionen auf Basis des Modells Effektive Materialien fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA "Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme" des DIN-Normenausschusses Materialprüfung (NMP) erarbeitet.

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-01-61 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme 

Ausgabe 2023-03
Erscheinung 2023-01-27
Frist zur Stellungnahme bis 2023-03-27
Originalsprache Deutsch, Englisch
Preis ab 88,30 €
Inhaltsverzeichnis

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