NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

Norm-Entwurf [NEU]

DIN EN ISO 23131
Ellipsometrie - Grundlagen (ISO 23131:2021); Deutsche und Englische Fassung prEN ISO 23131:2022

Titel (englisch)

Ellipsometry - Principles (ISO 23131:2021); German and English version prEN ISO 23131:2022

Einführungsbeitrag

Dieses Dokument gilt für das Messverfahren Ellipsometrie, einem Verfahren zur Bestimmung optischer und dielektrischer Konstanten im UV-VIS-NIR-Spektralbereich sowie von Schichtdicken, im Bereich der at-line Fertigungskontrolle, der Qualitätssicherung, der Materialentwicklung, akkreditierter Prüflaboratorien jeweils vorzugsweise für stand-alone Messsysteme unter besonderer Berücksichtigung einer GUM-konformen Angabe von Ergebnisunsicherheit. Dieses Dokument (EN ISO 9220:2022) wurde vom Technischen Komitee ISO/TC 107 „Metallic and other inorganic coatings“ in Zusammenarbeit mit dem Technischen Komitee CEN/TC 262 „Metallische und andere anorganische Überzüge, einschließlich des Korrosionsschutzes und der Korrosionsprüfung von Metallen und Legierungen“ erarbeitet, dessen Sekretariat von BSI (Vereinigtes Königreich) gehalten wird. Das zuständige deutsche Normungsgremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-01-61 AA „Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme“ im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP).

Änderungsvermerk

Gegenüber DIN 50989-1:2018-03 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Übernahme als DIN EN ISO 23131; b) redaktionelle Anpassung an DIN 820-2.

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-01-61 AA - Mess- und Prüfverfahren für Schichten und Schichtsysteme 

Zuständiges europäisches Arbeitsgremium

CEN/TC 262/WG 12 - Normenpflege und ISO-Koordination 

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 107/JWG 4 - Gemeinsame Arbeitsgruppe ISO/TC 107 - ISO/TC 35/SC 9 WG: Methoden der Schichtdickenmessung für Überzüge, Lacke und Anstrichstoffe 

Ausgabe 2022-08
Erscheinung 2022-07-01
Frist zur Stellungnahme bis 2022-09-01
Originalsprache Deutsch, Englisch
Preis ab 91,60 €
Inhaltsverzeichnis

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