NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

Norm-Entwurf [VORBESTELLBAR]

DIN 50450-9
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen - Teil 9: Bestimmung von Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C₁-C₃-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff mit Gaschromatographie

Titel (englisch)

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurities in carrier gases and dopant gases - Part 9: Determination of oxygen, nitrogen, carbonmonoxide, carbondioxide, hydrogen and C₁-C₃-hydrocarbons in gaseous hydrogen chloride by gaschromatography

Einführungsbeitrag

Dieses Dokument legt ein Verfahren zur Bestimmung des Stoffmengenanteils an Sauerstoff, Stickstoff, Kohlenstoffmonooxid, Kohlenstoffdioxid, Wasserstoff und C1-C3-Kohlenwasserstoffen in Chlorwasserstoff aus der Gasphase fest. Dieses Dokument wurde vom Arbeitsausschuss NA 062-05-73 AA "Gasanalyse und Gasbeschaffenheit" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP) erarbeitet.

Änderungsvermerk

Gegenüber DIN 50450-9:2003-04 wurden folgende Änderungen vorgenommen: a) Anwendungsbereich erweitert; b) vorm. Abschnitt 2 entfallen; c) Abschnitt 3 aufgenommen; d) zweiten Absatz in Abschnitt 4 (vorm. Abschnitt 3) aufgenommen; e) vorm. Abschnitt 9 entfallen; f) Anhang A aufgenommen; g) Dokument redaktionell überarbeitet.

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-05-73 AA - Gasanalyse und Gasbeschaffenheit 

Ausgabe 2020-11
Erscheinung 2020-09-25
Frist zur Stellungnahme 2020-09-25
bis
2020-11-25
Originalsprache Deutsch
Preis ab 36,70 €
Inhaltsverzeichnis

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Dipl.-Ing.

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