NA 062

DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP)

Norm-Entwurf [NEU]

DIN ISO 18516
Chemische Oberflächenanalyse - Augerelektronen-Spektroskopie und Röntgenphotoelektronen-Spektroskopie - Bestimmung der lateralen Auflösung (ISO 18516:2019); Text Englisch

Titel (englisch)

Surface chemical analysis - Determination of lateral resolution and sharpness in beam based methods with a range from nanometers to micrometers (ISO 18516:2019); Text in English

Einführungsbeitrag

Dieser Norm-Entwurf beschreibt Verfahren zur Messung der lateralen Auflösung und Schärfe bei bildgebender chemischer Oberflächenanalyse. Das zuständige nationale Gremium ist der Arbeitsausschuss NA 062-08-16 AA "Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie" im DIN-Normenausschuss Materialprüfung (NMP).

Zuständiges nationales Arbeitsgremium

NA 062-08-16 AA - Chemische Oberflächenanalyse und Rastersondenmikroskopie 

Zuständiges internationales Arbeitsgremium

ISO/TC 201/SC 2/WG 2 - Referenzmaterialien 

Ausgabe 2020-01
Erscheinung 2019-11-29
Frist zur Stellungnahme bis 2020-01-29
Originalsprache Englisch
Preis ab 141,90 €
Inhaltsverzeichnis

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Herr Dr.-Ing.

Michael Schmitt

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Fax: +49 30 2601-42783

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